나노소자특화팹센터 고밀도 리소그라피 개발

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나노소자특화팹센터 고밀도 리소그라피 개발

정양수 기자 chys@kgnews.co.kr
등록 2007.09.04 21:58:56

4일 권재욱 지방공사 사장이 화성 동탄 자연앤 아파트 주택건설공사 현장을 직접 방문, 현장 관계자들에게 안전 시공을 당부했다.

나노소자특화팹센터(대표이사 고철기)가 세계적 수준의 하드디스크드라이브(HDD) 제조, 핵심기술 개발에 성공했다.

센터측에 따르면 서울대학교 재료공학부 김기범 교수팀과 공동으로 전자빔 리소그라피 기술을 이용해 직경 10, 간격 25 나노미터 크기의 고해상·고밀도 패턴 형성(형상 배열)에 성공했다고 밝혔다.

나노 리소그라피 기술이란 반도체 공정에서 물질의 표면 특성을 원자단위까지 측정할 수 있는 원자현미경을 이용해 전압을 가해 산화막을 형성하는 기술이다.

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