나노기술원, 작년 무상기증 받아

지도·감독권 道→ 미래부 이관

장비 이전·설치비용 28억 중

도 15억 분담 지원근거 없어져

정부서도 추가 예산지원 뒷짐

기술원 “장비 쓸 기업들 피해”

한국나노기술원이 무상으로 기증받은 160억원 규모의 IoT(사물인터넷) 센서 제조용 8인치 장비가 사장될 위기에 처했다.

지도·감독권이 경기도에서 미래창조과학부로 변경되는 과정에서 이 장비들을 설치할 예산 지원이 모호해졌기 때문이다.

피해는 이 장비를 시스템소자 제작 및 시험·생산 등에 활용할 도내 중소기업들이 떠안고 있다.

2일 관련 기관 등에 따르면 한국나노기술원은 지난해 10월 지멤스와 협약을 맺고 IoT 센터 제조용 8인치 장비 15대를 무상으로 기증 받았다.

이들 장비는 8인치 반도체 생산 공정에 필요한 사진, 방막, 엣칭 등의 메인장비로 구입하려면 160억여원을 들여야 한다.

특히 한국나노기술원이 기존 보유한 도포 코팅(8inch Track V), 패턴 CD 측정기(CD-SEM), 반도체 칩 전기시험장비(Dc Prober) 등의 반도체 생산장비와 함께 8인치 IoT 센서 및 MEMS(미세전자제어기술) 일괄공정 플랫폼을 구축하게 된다.

한국나노기술원은 이를 위해 올해 6월까지 전기와 냉각수 등 유틸리티를 연결하고, 연말까지 기증장비 셋업 및 시운전을 거쳐 내년부터 고객 서비스에 나서기로 했다.

고객 확보 및 연간 10억원에 달하는 유지관리 계획도 세웠다.

한국나노기술원 팹(fab) 이용 기업 200여곳 중 MEMS 소자 연관 기업인 21곳이 8인치 장비 활용 협약을 체결한 데다 운영비 일부 분담 의사도 밝혀서다.

또 W사의 경우 제품개발 및 장비활용을 위해 이관장비 가운데 일부 장비의 개조비용 4억원을 투자키로 약속했다.

이 같은 계획은 지난 1월28일 한국나노기술원이 미래부의 기타 공공기관으로 지정되면서 차질이 빚어졌다.

한국나노기술원은 지멤스와의 협약 체결 전 장비이전에 따른 설치비 28억원 가운데 15억원은 도에서, 5억원은 미래부에서 각각 지원받기로 했다.

나머지 8억원은 한국나노기술원 자체비용으로 처리할 계획이었다.

하지만 지도·감독권이 경기도에서 미래부로 넘어가면서 도가 지원할 근거가 모호해졌다.

예산편성지침 상 공기관 대행사업비로 지원할 수는 있으나 정부기관에 도가 지원해야할 규정이 마땅치 않다.

게다가 지도·감독권을 가저간 미래부는 추가 예산지원 등에 대해 묵묵부답이다.

한국나노기술원 관계자는 “기증받은 8인치 장비는 기존 한국나노기술원이 보유한 6인치 팹장비를 보완, 산·한·연에 IoT 시스템 소자개발, 시험생산, 신뢰성 인증 등 전주기적 팹서비스를 제공하는 핵심”이라며 “장치설치가 늦어질수록 가동도 하기전 더 많은 개보수 비용이 들어가게 되고, 가장 큰 피해자는 이 장비를 활용할 도내 기업들”이라고 말했다.

/안경환기자 jing@