이로써 삼성전자는 2000년 이래 8년째 이른바 ‘황(黃)의 법칙’을 입증하고 나아가 삼성만의 신기술을 통해 기존 설비를 20나노급까지 공정 전환할 수 있는 기반을 마련했다.
황의 법칙이란 반도체 집적도가 매년 2배씩 증가한다는 삼성전자 황창규 반도체총괄 사장의 메모리 신성장론을 말한다.
1999년 256메가 개발에 성공한 삼성은 1년만인 2000년 512메가 개발을 발표한 이후 올해까지 8년째 신제품 개발을 통해 반도체 집적도를 매년 2배씩 늘려왔다.
이번에 개발된 30나노 기술은 머리카락 두께의 4천분의 1 정도의 초미세 기술이다.
또한 64기가비트 용량은 세계 인구 65억명의 10배에 해당하는 640억개 메모리 저장장소가 손톱만한 크기에 집적돼 한치의 오차없이 작동되고 있음을 뜻한다.
삼성전자는 이번 제품 개발을 통해 오는 2009년부터 2011년까지 3년 누적 기준으로 볼 때 200억달러 규모의 시장창출이 가능할 것으로 기대했다.
아울러 이 제품 16개가 모아져 최대 128기가바이트(GB)의 메모리카드 제작이 가능할 것으로 삼성전자는 전망했다.
이렇게 되면 DVD급 화질의 영화 80편(124시간)과 40명가량 개개인의 모든 DNA 유전자 정보를 메모리카드 하나에 저장할 수 있다고 삼성전자는 말했다.
삼성전자는 “이번 개발에는 ‘전하는 기존의 도체가 아닌 부도체 물질에 저장한다’는 발상의 전환으로 셀간의 간섭문제를 완벽히 해결한 기존 CTF 기술을 기반으로 삼성의 독창적인 SaDPT 기술를 결합시켜 얻은 성과”라고 설명했다.
특히 SaDPT는 40나노급 포토(PHOTO) 장비로 30나노, 나아가 20나노급 제품화를 가능케 하는 것으로 반도체 공정에서 패턴과 패턴 사이에 또다른 패턴을 만들어 패턴간 간격을 감소시킴으로써 반도체 장비기술의 한계를 극복하는 기술이다.
무엇보다 이 기술은 기존 기술인 DPT 기술이 노광과 식각 과정을 반복하면서 1차 패턴과 2차 패턴 사이에 정렬이 잘못되는 문제에 노출돼왔던 것을 극복했다는 점에서 각별한 의미가 있다고 삼성전자는 덧붙였다.
삼성전자는 “SaDPT 기술의 경우 앞으로 20나노급으로까지도 확대, 적용함으로써 추가 투자 없이도 차세대(30나노)는 물론 차차세대(20나노)까지의 공정 전환과 제품화 가능성을 제시했다”고 밝혔다.
