웨이퍼 자동광학 검사장치 등 호평 21일 송도 시상

인천시는 오는 21일 ‘과학의 날’ 을 맞아 ‘제12회 인천시 과학기술상’ 수상자를 선정, 16일 발표했다.

올해 과학기술상 기술부문 대상에는 윤두현 에이티아이(주) 연구소장이 차지했으며, 과학부문 금상에는 이종무 인하대 교수, 기술부문 금상에는 오경택 동양다이캐스팅(주) 대표이사가 선정됐다.

기술상 부문 대상 수상자로 선정된 윤 소장은 ‘웨이퍼 자동 광학 검사장치 개발’을 통해 기술적으로 정확성이 요구되는 플립칩(Flip Chip)공정에서 웨이퍼 범프(Bump) 검사를 비롯, CIS?WLP?RDL 웨이퍼의 표면 및 패턴 검사 등에 대해 2D?3D 촬영 장치를 이용해 불량제품을 완벽하게 선별할 수 있는 기술을 개발한 것이 높은 평가를 받았다.

또, 과학부문 금상을 수상한 인하대 이종무 교수는 ‘다공성 실리콘과 근적외선 레이저를 이용한 광열암 치료 기술’을 개발해 수상자로 선정됐으며, 기술상 부문의 금상의 오경택 대표이사는 ‘건조기 가스 조절 밸브의 개발 및 생산 기술’로 가스밸브(LPG용)의 솔레노이드 밸브 부분에 대한 소음 및 누설을 최소화 한 것이 높은 평가를 받아 선정됐다.

한편 올해 과학기술상은 총11건(과학상 3건, 기술상 9건)의 추천서가 접수 돼 심사위원회의 1차 서면평가와 현장실사, 2차 최종평가를 통해 연구논문의 우수성과 기술개발의 성과에 대한 평가를 통해 최종 선정됐으며, 시상식은 오는 21일 과학의 날 기념식이 열리는 송도테크노파크 갯벌타워 2층에서 개최될 예정이다.