아주대 연구팀이 전자현미경 측정을 위한 코팅 장비 및 공정 기술을 개발해 관련 기업에 총 11억 7500만 원 규모의 기술이전을 했다.

아주대학교는 20일 오일권 아주대 교수(지능형반도체공학과·전자공학과)와 이한보람 인천대 교수(신소재공학과) 연구팀이 주사전자현미경(SEM) 및 투과전자현미경(TEM)의 선명한 측정을 위한 3차원 전도성 코팅 방법을 개발해 이를 관련 기업에 기술이전했다고 밝혔다.

연구팀이 개발한 기술은 전자현미경 활용을 위한 전처리 장비의 핵심 기술이다. 원자층 증착(ALD, Atomic Layer Deposition) 공정을 이용해 미세한 요철이 많거나 복잡한 3차원 구조에서도 전도성 박막을 매우 얇고 균일하게 코팅할 수 있게 한다.

이에 전자현미경 측정 시 표면의 변질이나 왜곡이 없는 선명한 현미경 이미지를 얻을 수 있고 고온 처리가 필요 없어 열로 인한 샘플 손상의 우려가 없다는 장점이 있다.

반도체 원자층 증착은 원자층을 쌓아 올려 막을 만드는 적층방식으로 반도체 집적도를 높이기 위한 기술로 주목받고 있다.

해당 기술은 반도체 원자층 증착 연구 장비를 생산하는 반도체·디스플레이 전문 장비 기업 씨엔원으로 이전됐다.

오일권 교수는 "이번 개발한 기술을 활용하면 기존의 코팅 기술로는 만들기 어려웠던 새로운 방식의 측정 샘플을 제작할 수 있다"며 "새로운 패러다임의 반도체 기술 개발을 위한 신시장이 창출될 것으로 본다"고 말했다.

한편 이번 기술이전은 '2023년 지역산업연계 대학 Open-Lab 육성 지원 사업'의 성과로 아주대 공동 연구팀과 씨엔원은 앞으로 관련 기술에 대한 공동 연구를 이어갈 계획이다.

[ 경기신문 = 김영철 기자 ]