네덜란드 반도체 장비 기업 ASML이 16일 경기도 화성에서 반도체 클러스터 '뉴 캠퍼스' 기공식을 열고 한국 기업들과 긴밀한 협력을 다짐했다.

ASML의 화성 '뉴 캠퍼스'는 1만 6000㎡(제곱미터) 규모로 심자외선(DUV)·극자외선(EUV) 노광장비와 관련한 부품 등의 재(再)제조센터와 첨단 기술을 전수하기 위한 트레이닝 센터, 체험관 등을 포함한다. ASML은 2024년 말까지 뉴 캠퍼스 건립을 위해 2400억 원을 투자한다.

이날 비공개로 진행된 착공식에는 피터 베닝크 ASML 최고경영자(CEO), 문동민 산업통상자원부 무역투자실장, 김동연 경기도지사, 정명근 화성시장, 이원욱 국회의원, 이우경 ASML 코리아 대표, 요아나 도너바르트 주한네덜란드 대사 등 관계자 150여 명이 참석했다.

김동연 경기도지사는 이 자리에서 "오늘 에이에스엠엘 반도체 클러스터 착공을 계기로 대한민국 반도체의 새로운 생태계 조성, 네덜란드와의 합작, 세계적 반도체 중심지로서의 도약의 기회라는 새로운 동력에 대해 확신하게 됐다"라며 "경기도가 반도체의 중심이다. 아주 기쁜 날"이라고 말했다. 

앞서 산업부는 뉴 캠퍼스의 한국 유치를 위해 지난 2020년부터 경기도, 화성시, KOTRA 등과 함께 ASML 사와 긴밀히 협력해왔다. 지난해 11월에는 관계 기관 간 'ASML 화성 반도체 클러스터 조성을 위한 투자협약'을 체결했다.

ASML은 전 세계에서 유일하게 7㎚ 이하 초미세 공정에서 필수인 극자외선(EUV) 노광장비를 생산하고 있다. 1대당 2500억 원에 이르는 고가 장비로, 1년에 약 40대만 생산하고 있어 삼성전자와 SK하이닉스, 인텔, TSMC 등 세계 굴지의 기업들이 장비 확보 경쟁을 벌이고 있다.

이번 화성 뉴 캠퍼스 조성을 통해 ASML과 국내 반도체 기업과의 협력이 더 긴밀해지고, 첨단 장비 관련 소재·부품 공급망이 한층 강화될 것으로 평가된다.

베닝크 CEO는 뉴 캠퍼스와 관련해 "한국 고객 사업 규모가 급격히 성장하고 있다. 기술의 복잡성도 높아지면서 고객사와의 협력이 중요하다"라면서 "재제조 사업도 대규모로 할 것이기 때문에 고객사와 가깝게 있는 것이 중요하다"라고 강조했다.

재제조 센터는 고장이 나거나 성능이 떨어진 부품을 활용해 새로운 장비를 만드는 시설이다. ASML은 재제조 센터를 기반으로 국내 중소기업과의 협력을 통해 한국산 수리 부품이 차지하는 비중을 10%에서 50%까지 높일 계획이다. 

중장기적으로는 한국에 연구개발(R&D) 센터와 제조 시설을 설립하는 방안도 검토하고 있다. 베닝크 CEO는 "앞으로 한국에서 R&D를 늘려나갈 것"이라며 "기술이 굉장히 복잡하기 때문에 우선 재제조 센터로 시작하고 지식 이전에 5∼10년이 걸리기 때문에 그 이후 제조 기반이 만들어질 것"이라고 말했다. 

아울러 ASML은 한국에서 향후 10년간 1400명을 추가로 고용해 사업 기반을 넓힐 예정이다. 전날 이우경 ASML 코리아 대표는 기자간담회에서 "한국 투자는 ASML이 해외 지사 중 처음으로 직접 투자하는 사례이자 최대 규모"라면서 "향후 10년간 약 1400명을 국내에서 신규 채용할 계획"이라고 밝혔다.

한편 베닝크 CEO는 이번 방한 기간 이 회장을 만나 협력 방안을 논의할 것으로 알려졌다. 삼성전자는 오는 2025년까지 2나노미터(㎚, 1㎚는 10억 분의 1m), 2027년에는 1.4㎚의 초미세공정 반도체 양산 계획을 밝힌 바 있어 관련 논의가 오고 갈 것으로 보인다. 이 회장은 지난 6월 네덜란드에서 베닝크 CEO와 만남에서도 이와 관련한 논의를 한 것으로 전해졌다.

[ 경기신문 = 이지민·김혜진 기자 ]